PIEZODRIVE 掃描管TB系列壓電掃描管,用于納米定位
TB系列PIEZODRIVE 掃描管
PIEZODRIVE 壓電致動(dòng)器是由徑向極化的壓電材料制成的細(xì)圓柱體,具有四個(gè)外部電極和一個(gè)連續(xù)的內(nèi)部電極。當(dāng)電壓施加到其中一個(gè)外部電極時(shí),管的自由端將向施加電壓的一側(cè)彎曲。通過對(duì)所有外部電極施加相等的電壓或?qū)?nèi)部電極施加電壓,可以實(shí)現(xiàn)垂直伸長(zhǎng)。
TB系列壓電掃描管廣泛用于掃描探針顯微鏡作為XYZ納米定位器,以及其他如微操作和光束掃描等應(yīng)用。TB系列壓電掃描管可以單獨(dú)訂購(gòu),也可以選擇包括連接到TD250-INVPIEZODRIVE 電壓放大器的布線和連接器選項(xiàng),以及便于組裝的安裝表面??梢愿鶕?jù)要求提供定制尺寸和/或電極配置。
型號(hào) | 長(zhǎng)度(1) | 直徑(2) | 壁厚(3) | 電極間隙(4) | 最大電壓(5) | 掃描范圍(6) | 擴(kuò)展范圍(7) | 共振頻率(8) | 象限電容(9) |
TB1005-N | 10.0 mm | 5.0 mm | 0.66 mm | 0.7 mm | ± 264 V | 3.8 um | 2.1 um | 25 kHz | 3 nF |
TB1006-S | 10.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 3.2 um | 2.1 um | 31 kHz | TBC |
TB2006-S | 20.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 13 um | 4.2 um | 7.7 kHz | TBC |
TB3006-S | 30.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 29 um | 6.3 um | 3.4 kHz | TBC |
TB3507-N | 35.0 mm | 7.0 mm | 0.66 mm | 0.7 mm | ± 264 V | 39 um | 7.4 um | 3.0 kHz | 10 nF |
TB4006-S | 40.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 51 um | 7.4 um | 1.9 kHz | TBC |
TB5006-S | 50.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 80 um | 11 um | 1.2 kHz | TBC |
TB5509-N | 55.0 mm | 9.0 mm | 0.6 mm | 0.7 mm | ± 250 V | 64 um | 12 um | 1.6 kHz | 17 nF |
TB6006-N | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 114 um | 13 um | 850 Hz | 12 nF |
TB6006-S | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 114 um | 13 um | 860 Hz | TBC |
TB10006-S | 100.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 318 um | 21 um | 310 Hz | TBC |
1,長(zhǎng)度公差:±0.2毫米
2,直徑公差:±0.2毫米
3,厚度公差:±0.1毫米
4,外部電極之間以及電極與管端之間的間隙公差:+0.3毫米,-0.2毫米
5,任意外部電極與接地內(nèi)部電極之間的最大推薦雙極電壓
6,當(dāng)最大電壓施加到X或Y電極且內(nèi)部電極接地時(shí),固定基座和自由端的峰值峰值水平偏轉(zhuǎn)。公差:-0%,+50%
7,當(dāng)最大電壓施加到所有外部電極且外部電極接地時(shí)的峰值峰值垂直偏轉(zhuǎn)。公差:-0%,+50%
8,固定基座和自由端的第一彎曲模態(tài)共振頻率,見下方計(jì)算器。公差:±20%
9,一個(gè)外部電極和內(nèi)部電極之間的電容。公差:±30%
由TD250-INVPIEZODRIVE 電壓放大器驅(qū)動(dòng)的壓電管接線圖。X軸偏轉(zhuǎn)由In1信號(hào)(±10V)控制,產(chǎn)生在+X電極上的非反相±250V信號(hào),以及在-X電極上的反相±250V信號(hào)。在In1上施加+10V信號(hào)時(shí),管子向+X電極最大偏轉(zhuǎn);施加-10V信號(hào)時(shí),管子向-X電極最大偏轉(zhuǎn)(如圖所示)。Y軸驅(qū)動(dòng)方案與X軸相同。垂直Z軸偏轉(zhuǎn)由In5(0V至-10V)控制,產(chǎn)生在內(nèi)部電極上的負(fù)電壓(最高至-250V),并產(chǎn)生相當(dāng)于垂直行程范圍一半的收縮。當(dāng)同時(shí)驅(qū)動(dòng)三個(gè)軸時(shí),僅能使用垂直行程范圍的一半。
電極
這些管子配有銀或鎳薄膜電極。電極材料由訂購(gòu)代碼后綴確定,-S表示銀,-N表示鎳。銀是通用應(yīng)用和高磁場(chǎng)環(huán)境的材料。鎳電極更耐氧化且更易焊接,但成本較高。
內(nèi)部電極是連續(xù)的,外部電極分為四部分??梢酝ㄟ^稀硝酸蝕刻去除電極區(qū)域??梢愿鶕?jù)要求提供定制電極配置。
電極間隙規(guī)格是指從兩端去除的外部電極長(zhǎng)度,以提供與安裝表面的電氣間隙。內(nèi)部電極是連續(xù)的。
在需要最高抗氧化性的應(yīng)用中,可以根據(jù)特別要求提供金電極。
PIEZODRIVE 壓電掃描管訂貨號(hào):
(管順序代碼)-(底座)-(頂蓋)-(底蓋)-(組裝)-(接線)-(連接器)- l(長(zhǎng)度)
管訂單代碼:如TB6006-S
底座:如果沒有底座或B則為空白
頂蓋:如果沒有頂蓋,則為空白
底蓋:如果沒有上蓋或BC,則為空白。不帶底座
組裝:如果沒有組裝(膠合)或A,則為空白,只有B, TC或BC可用
接線:無接線則為空白。如果管接線只提供與組件。V型用于垂直布線,不帶底座。H為水平布線,不帶底座。
連接器:空白,用于非端接導(dǎo)線或DSUB。僅在選擇接線選項(xiàng)時(shí)可用。
長(zhǎng)度:布線長(zhǎng)度,單位為米。僅在選擇接線選項(xiàng)時(shí)可用。
示例1:TB6006-S管,帶頂帽底座,配1m D-Sub電纜: TB6006-S-B-TC-A-W-DSUB-L1
示例2:TB6006-S管1米無端接垂直接線: TB6006-S-V-L1
示例3:TB2006-S管,帶底座和頂蓋,但沒有組件或接線: TB2006-S-B-TC